精密加工是在20世紀(jì)60年代為適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光、航天等頂尖技術(shù)需要而發(fā)展起來(lái)的精度很高的一種加工技術(shù)。到了80年代初期，較高的加工尺寸已經(jīng)可以達(dá)到10納米級(jí)，其表面粗糙度達(dá)到1納米。而加工的較小尺寸可達(dá)到1微米，正在向納米級(jí)加工尺寸的精度目標(biāo)前行。
    納米級(jí)的精密加工也被稱為納米工藝。精密加工時(shí)處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。
    在20世紀(jì)80年代到50世紀(jì)80年代，為精密加工技術(shù)的開(kāi)創(chuàng)期。在20世紀(jì)50年代末，基于航天、國(guó)防等頂端技術(shù)發(fā)展的需要，美國(guó)開(kāi)始開(kāi)展精密加工技術(shù)，并研發(fā)了金剛石刀具精密切削機(jī)械，主要被用于加工激光核聚變反射鏡，戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈以及載人飛船用球面、非球面等大型零件中。